电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统

仪器功能：

      电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。可用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等。

放置地点：强磁场中心一楼大厅          仪器管理员：朱相德

邮箱： xdzhu@hmfl.ac.cn                     联系电话：136 3706 3970