高真空微透镜激光位移测量系统

技术指标：

      样品77K- 300K变温，真空度优于10^-6 mBar，微透镜三维定位，光纤干涉仪灵敏度可达pm（皮米）

仪器功能：     

      高真空微透镜激光位移测量系统可用于微纳机械系统的力学测量，光力系统和微机电系统的实验测量。

放置地点：强磁场中心一楼大厅          仪器管理员：徐峰  

邮箱： xufeng@hmfl.ac.cn                   联系电话：131 7025 4572