聚焦离子束-扫描电子显微镜(Helios Nanolab 600i)
仪器功能:
FIB-SEM双束电镜是具有聚焦离子(FIB)束和扫描电子显微镜(SEM)功能、可以同时实现SEM高分辨率表征和离子束精细加工的设备。
聚焦离子束扫描电子显微镜Helios Nanolab 600i主要用于扫描电镜高分辨表征、机械手转移样品、气体沉积、离子束精细加工及透射样品制备。
放置地点:强磁场中心一楼大厅 仪器管理员:王宁
邮箱:wn127@hmfl.ac.cn 联系电话:158 5699 3065