聚焦离子束-扫描电子显微镜（Helios G4 UX）
仪器功能：
FIB-SEM双束电镜是具有聚焦离子(FIB)束和扫描电子显微镜（SEM)功能、可以同时实现SEM高分辨率表征和离子束精细加工的设备。
Helios G4 UX聚焦离子束扫描电子显微镜可扫描电镜高分辨表征、机械手转移样品、气体沉积、离子束精细加工及透射样品制备。
放置地点：交叉科研楼南楼 104室 仪器管理员：王宁
邮箱：wn127@hmfl.ac.cn 联系电话：158 5699 3065
仪器功能：
FIB-SEM双束电镜是具有聚焦离子(FIB)束和扫描电子显微镜（SEM)功能、可以同时实现SEM高分辨率表征和离子束精细加工的设备。
Helios G4 UX聚焦离子束扫描电子显微镜可扫描电镜高分辨表征、机械手转移样品、气体沉积、离子束精细加工及透射样品制备。
放置地点：交叉科研楼南楼 104室 仪器管理员：王宁
邮箱：wn127@hmfl.ac.cn 联系电话：158 5699 3065